Advanced Energy CESAR 133等離子發(fā)生器

公司簡介：

     Advanced Energy（AE，優(yōu)良能源工業(yè)） 是精密電源、測量與控制技術(shù)跨國企業(yè)，核心服務(wù)于半導(dǎo)體、工業(yè)加熱、醫(yī)療、數(shù)據(jù)中心等高精尖制造領(lǐng)域，是你之前咨詢的 THYRO-A 可控硅功率控制器的品牌母公司。

Advanced Energy CESAR

產(chǎn)品優(yōu)勢：

穩(wěn)定可靠：采用成熟 E 類放大器架構(gòu)，適應(yīng)高失配負(fù)載與惡劣等離子環(huán)境

精準(zhǔn)控制：功率調(diào)節(jié)精度高（≤±1%），支持脈沖模式（1~30kHz）

靈活通用：全系列覆蓋主流頻段與功率，200/400VAC雙電壓輸入

易用智能：大 LCD 液晶面板、中文 / 英文菜單、多路通訊與模擬接口

安全保護(hù)：過流、過壓、過溫、駐波比（VSWR）全保護(hù)，CE/SEMI 認(rèn)證

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體：PECVD/ICP/RIE 刻蝕、薄膜沉積、等離子清洗

顯示面板：LCD/OLED 鍍膜、刻蝕、表面處理

太陽能：PECVD、硅片清洗、擴(kuò)散工藝

工業(yè)鍍膜：裝飾 / 功能涂層、光學(xué)鍍膜、玻璃鍍膜

型號列表:

CESAR 136

CESAR 1310

CESAR 1320

CESAR 1330

CESAR 1350

CESAR 133

CESAR 026

CESAR 046

CESAR 276

CESAR 406

Advanced Energy CESAR 133等離子發(fā)生器